展示製品の特徴

■C-6RF装置は、最大110GHzのマイクロ波プロービングに対応したアナリティカルプローバーステーションであり、振動除去構造、高性能顕微鏡と高分解能マイクロポジショナーを搭載することにより、コンパクトな設置面積でも高精度な測定が可能。更に、DC測定用途としても活用可能。
任意メーカーのVNAとも互換性があり、ネットワークパラメータ解析に最適な構成を実現。

■EB-050Eは、0.8µmの分解能を有しており、精密なオーバートラベル制御により、プローブ接触時の安定性と測定再現性を向上。また、マグネットON / OFF機能が付属しており、簡単に調整可能。

■EB-005Eは、より高精度な0.3µmの分解能を持つ上位機種で、DC・RFに加え、故障解析 (FA) 用途にも適しており、RFプロービングやフォトニクス測定など、微細な制御が求められるアプリケーションに最適。マグネットON/OFF機能付属。

■チップやウェハ上のネットワークパラメータを高精度かつ安定して測定するには、専用のマイクロ波プローブが必要であり、GGB社製Picoprobeは、柔軟性のあるチップ設計により、扱いやすく、キャリブレーション後の挿入損失・反射損失を最小限に抑え、測定ニーズに応じて、周波数帯域、針のレイアウト、ピッチなどを選択可能。