出展品目
- ALD装置 (Savannah G2、Fiji G2、Phoenix、Firebird)
Exhibits
- ALD System (Savannah G2, Fiji G2, Phoenix, Firebird)
商社取扱企業
Veeco Instruments Inc.
国内連絡先
(株)ハイテック・システムズ [ Booth No. J-15 ]
〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜3-19-5 新横浜第二センタービル12F
〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜3-19-5 新横浜第二センタービル12F
- TEL
- : (045)478-6511
- FAX
- : (045)478-6512
- :
- Web
- : https://www.hightec-sys.com
- 担当
- : 先端システム部
展示製品の特徴
【サーマルALD装置 [Savannah G2]】超高アスペクト比の構造体への成膜、又豊富なオプションにより様々なR&Dの現場から小規模の量産まで対応。