出展品目
- イオンビームトリミング装置 [scia Trim]
- イオンビームミリング装置 [scia Mill]
Exhibits
- Ion Beam Trimming System [scia Trim]
- Ion Baem Milling System [scia Mill]
商社取扱企業
scia Systems GmbH
国内連絡先
(株)ハイテック・システムズ [ Booth No. J-15 ]
〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜3-19-5 新横浜第二センタービル12F
〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜3-19-5 新横浜第二センタービル12F
- TEL
- : (045)478-6511
- FAX
- : (045)478-6512
- :
- Web
- : https://www.hightec-sys.com
- 担当
- : 先端システム部
展示製品の特徴
【イオンビームトリミング装置 [scia Trim]】最大200mm径基板まで対応した本装置は、フォーカスしたイオンビームを基板上に照射し基板面内上の膜厚分布や周波数分布を改善し、主に製造ラインにて製品歩留改善用途に使用されている装置となります。
主なアプリケーションはSAW、BAWフィルター、SOI等貼り合わせ基板、TFHやMEMS用形状補正となります。