展示製品の特徴

【自動RF機能ARFを備えたSUMMIT200と220GHzシングルスイープ広帯域ソリューション】
FormFactorは、Keysight Technologies、Virginia Diodes、Dominion Microprobesと共同で、高精度オンウェハ測定用の新しい220GHzシングルスイープ広帯域ソリューションを発表しました。
このシングルスイープソリューションは業界をリードするキーサイトN5291Aミリ波システムをベースに、バージニアダイオードの特別設計のサブTHz周波数エクステンダーを組み合わせています。これにより、既存のN5291Aシステムを活用して、170GHzまたは220GHzへのシングルスイープに対応することができます。新開発のT-Wave Probeにより、最小の挿入損失で220GHzまでの連続広帯域掃引が可能です。
また、フォームファクター社の特許であるRF TopHatを搭載したこのソリューションは、フルサーマルレンジ、EMIシールド、遮光測定機能を備えています。RF TopHatは、ミリ波エクステンダーをサンプル加温部から分離し、最高の測定安定性を確保と破損リスクの低減を実現します。
このシステムは、以下のFormFactorプローブステーションに搭載することができます。
SUMMIT200 はMWEブースに展示されています。その他対応機種は下記になります。CM300Xi、マニュアルプローバはEPSシリーズに対応しております。

【EPS150MMW マニュアルのプローブステーションとLoad-Pullチューナー】
フォームファクターは、Focus MicrowavesおよびKeysight Technologiesと提携し、プローブステーション、分析用プローブ、校正ツール、チューナーを含む、ウェハ上のミリ波ロードプル測定を正確に行うための完全統合ソリューションを提供します。
Focus Microwaves社のDELTAチューナーは、特にオンウェハ統合用に設計されており、物理的に可能な限りウェハに近い場所に設置することができます。FormFactor社のInfinityプローブはチューナーのテストポートに直接接続することができ、挿入損失を最小限に抑え、ガンマを最大化し、スミスチャート上のチューナブルインピーダンスを非常に大きくカバーすることが可能です。
EPS150MMWはブースに展示されています。その他対応機種は下記になります。CM300Xi、SUMMIT200、EPS150THz、EPS200MMW。67GHzと110/120GHzのバージョンがあります。

【PQ500　量子コンピューターチップテスト向けチップコンタクター】
極低温下での量子コンピューター用チップ、デバイスの測定には従来ワイヤーボンディングを行いチップを冷凍機にセットしておりました。フォームファクター独自のチップコタクター技術により再利用可能でワイヤーボンディング不要なチップコンタクターPQ500をリリースいたしました。ワイヤーボンディングを使用しない事により、20GHzの高い周波数の信号を入出力する事が可能です。