展示製品の特徴

【サーマルALD装置 [Savannah G2]】
シンプルで高い信頼性を持つR&Dの世界標準機。
サンプルのサイズに応じてウエハ片からΦ12インチまで対応できる3機種をラインナップ。
超高アスペクト比の構造体への成膜、又豊富なオプションにより様々なR&Dの現場から小規模の量産まで対応。

【プラズマ/サーマルALD装置 [Fiji G2]】
効率よくラジカルを発生できるリモートICPプラズマ源と真空ロードロック、ターボポンプを搭載した高性能R&D用プラズマ/サーマルALD装置。
より幅広いR&Dの現場で、最大8インチまでの基板に対してコンタミの少ない高品質の窒化膜や金属膜の成膜を実現。

【中規模量産サーマルALD装置 [Phoenix]】
12インチまでの各サイズのウエハだけでなく角基板やコイン等いろいろな形のサンプルに対応した大容量のリアクターをもつバッチ式のサーマルALD装置。

【大規模量産サーマルALD装置 [Firebird]】
EFEMと真空搬送チャンバーを持つフルオートのクラスターツールタイプのALD装置。
プリヒートチャンバーを搭載し、カセット毎の搬送により高スループットを実現。