出展品目
- RTP装置 [AS-One]
- RTP装置 [AS-Premium]
- RTP装置 [AS-Master]
Exhibits
- RTP System [AS-One]
- RTP System [AS-Premium]
- RTP System [AS-Master]
商社取扱企業
Annealsys
国内連絡先
(株)ハイテック・システムズ [ Booth No. G-03 ]
〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜3-19-5 新横浜第二センタービル12F
〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜3-19-5 新横浜第二センタービル12F
- TEL
- : (045)478-6511
- FAX
- : (045)478-6512
- :
- Web
- : https://www.hightec-sys.com
- 担当
- : 先端システム部
展示製品の特徴
【RTP装置 [AS-One]】最大150mm径基板まで対応した本装置は主にR&Dや小ロット量産用に適しており、基板上部からのランプ加熱により最大温度1450℃(100mm径基板), 1300℃(150mm径基板)にて処理可能なコンパクトタイプの装置となっております。
【RTP装置 [AS-Premium]】
最大150mm角基板まで対応した本装置は主に量産用に適しており、基板上部又は上下部からのランプ加熱により最大温度1300℃にて処理可能、且つ装置単体での仕様又は真空下や大気下でのクラスター構成仕様が可能な装置となっております。
【RTP装置 [AS-Master]】
最大200mm角基板まで対応した本装置は主に量産用に適しており、基板上部からのランプ加熱により最大温度1450℃にて処理可能、且つ装置単体での仕様又は真空下や大気下でのクラスター構成仕様が可能な装置となっております。