Microwave Workshop & Exhibition: Nov. 25-27, 2020, Pacifico Yokohama, JAPAN
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出展社

 

フォームファクター(株)
Form Factor K.K.


〒240-0005 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134 横浜ビジネスパーク・イーストタワー11F
TEL
: (045)338-1286
FAX
: (045)338-3958
Mail
FFJP_Sales@formfactor.com
Web
https://www.formfactor.com
担当
: 営業部

出展品目

  • 5G、自動車、その他の成長するRF半導体市場により、より高い周波数、新しい測定要望、測定量増加の面でより多くのオンウエハRFテストの要件が高まっています。
    フォームファクターはプローバと測定アプリケーションの両面において最新の技術を紹介します。300mmウエハ対応のセミオート、フルオートプローバCM300Xi、新製品の200mmウエハ対応のセミオート、フルオートプローバSummit200を提供します。これらのプローバのどちらにも、最大1.1THz(フルレンジサーマルの500GHz)までのSパラメータ、120GHzまでのロードプル測定(オプションとしてフルサーマル)、その他多くのRFおよびDC測定など様々な測定アプリケーションのセットアップが容易に行う事が出来ます。

展示製品の特徴

【Summit200/CM300Xi セミオート/フルオートプローバ】

■研究開発、デバイスの特性評価/モデリング、または特殊性のある生産用途向けに設計されたSummit200/CM300Xiプローブステーションは、超低ノイズ、DC、RF、mmW、THzのアプリケーションにおいて加温時の高精度の電気測定を可能にし、セミオート、フルオートともに正確なデータを高速に測定可能です。

■次世代プローブシステムであるSummit200/CM300XiはPureLine®技術を搭載し、市販品の中で最も低いノイズレベルを達成しております。特許取得済みのAttoGuard®およびMicroChamber®技術により、低電流測定および低容量測定を大幅に改善することが可能です。新しい高度な300および200 mm高速ステージ、最大2カセット搭載ウエハ、高スループットテスト機能、および-60度〜300度の広い温度範囲を備えた新しい高度なチャックステージによりR&D用途から量産用途までをサポートしております。

■また、最先端画像処理との組み合わせは、加温下での高精度で信頼性のある測定データ取得においてオペレータに依存しないソリューションを提供します。この機能によって、加温測定において弊社従来比最大5倍高速な測定を可能とし、また測定の不確実性の低減のために、当社の自動高周波測定アシスタント機能(Autonomous RF)は、すべての温度にわたって自動キャリブレーションを必要なタイミングで手動操作無しで実行することが出来るために、24時間365日RFテストを可能にします。

■これらのプローバのどちらにも、最大1.1THz(フルレンジサーマルの場合は500GHz)までのSパラメータ、120GHzまでのロードプル測定(オプションとしてフルサーマル)、その他多くのRFおよびDC測定など様々な測定アプリケーションのセットアップを容易に行う事が出来ます。特に柔軟で簡単に交換可能なポジショナアームは、異なるアプリケーションに同じポジショナを再利用する事が可能です。

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