出展品目
- マイクロ波ジェネレータ
- マイクロ波コンポーネント
- マイクロ波プラズマ源-サーファートロン
- マイクロ波ECRプラズマ源
- マイクロ波ダウンストリーム源
Exhibits
- Microwave Generator
- Microwave Component
- Surfatron Plasma Source
- Aura Wave Coaxial ECR Plasma Source
- Downstream Source
- Plasma System
取扱企業
SAIREM
12 Porte du Grand Lyon, 01702 Neyron, FRANCE
TEL : +33(0472)01-8171 FAX : +33(0472)01-8179 Web : http://www.sairem.com
TEL : +33(0472)01-8171 FAX : +33(0472)01-8179 Web : http://www.sairem.com
国内連絡先
(株)エーイーティー [ Booth No. C21 ]
〒215-0033 神奈川県川崎市麻生区栗木2-7-6
〒215-0033 神奈川県川崎市麻生区栗木2-7-6
- TEL
- : (044)980-0505
- FAX
- : (044)980-1515
- : info@aetjapan.com
- Web
- : http://www.aetjapan.com
- 担当
- : 営業部
展示製品の特徴
■SAIREM社が提供するSURFATRONは、プラズマの生成に不可欠な安定性、生産性、効率性を満たすマイクロ波プラズマ源です。励振原子、分子、ラジカル、イオン、光量子に応用できます。■また、2450MHzを始め、915MHz,も含めた大電力のマグネトロン電源(100W〜100kW)、10GHz〜28GHz(2.2kW〜10kW)のクライストロン電源や、オートチューナ・カップラー等のコンポーネントも開発、製造しています。