展示製品の特徴

■HeatWave Lab社のイオン源ははイオン銃・イオンレ−ザ−・プラズマ装置・加速器・スペクトロスコピー・核物理・表面処理等の製品、実験、研究に世界中で使われています。主に多孔質タングステンの中に各種イオンを含浸したものをヒーターで加熱し、負の電場をかけることでイオンを取り出す、固体イオン源です。材料としては、含浸型タングステンカソードを始め、LaB6、純タングステン、トリウムタングステン、アルカリ金属、稀土類等が使われています。

■また、ヒーターは、高真空中の長寿命で信頼性のある高熱基板ヒーターです。
大口径、1200℃の高温で使え、反応性ガス環境で使えるヒーターもご用意しております。高品質で信頼できるヒーターを様々なご要望に応じて提供いたします。

■電子銃は、主に含浸型タングステンを用いたカソードを使用して、電流密度が非常に高くエミッタンスの低い、良質の電子ビームを発生させます。電子源として使用されるほか、電子ビームリソグラフィーや加速器にも利用されています。