展示製品の特徴

【電子銃】
主に含浸型タングステンカソードを用い、高電流密度かつ低エミッタンスの高品質な電子ビームを発生させる電子源です。
高エネルギー加速器やX線管をはじめ、さまざまな装置に採用されています。
含浸型タングステンカソードのほか、LaB6カソード、純タングステンカソード、トリウムタングステンカソードも取り扱っております。

【固体イオン源】
多孔質タングステンに各種イオンを含浸したイオン源です。ヒーターでイオン源を加熱し、電場を印加することでイオンを放出します。
主にアルカリ金属イオンビームの生成に使用されます。イオン注入装置やSIMS装置をはじめ、さまざまな研究・開発用途で利用されています。

【基板ヒーター】
大口径基板に対応する1200℃の高温基板ヒーターです。真空環境または反応性ガス雰囲気下で使用できます。
高品質で信頼性の高いヒーターを、お客様のさまざまなニーズに合わせて提供いたします。