出展企業
 
日本シイベルヘグナー(株)
Nihon Siberhegner K.K.
〒108-8360 東京都港区三田3-4-19
TEL
: 03-5730-7615
FAX
: 03-5730-7606
Mail
: masaru.muramatsu@dksh.com
Web
: http://dksh.com
担当
: テクノロジー事業部門
取扱企業
・Roth & Rau AG
出展品目
  • ECRプラズマエッチャーおよびCVD
  • ICPエッチャーおよびCVD
  • イオンミリング装置
  • イオントリミング装置
  • イオンビーム源
 Exhibits
  • ECR Plasma etching & CVD equipment
  • ICP etching & CVD equipment
  • Ion Milling Equipment
  • Ion Trimming Equipment
  • Ion Beam source
展示製品の特徴
    ■独 Roth & Rau (ロス アンド ラウ)社は、卓越したプラズマおよびイオンビームの技術を持ち、実験用・プロセス用の装置を設計製作している会社です。
    特に太陽電池用の反射防止膜生成装置は高いシェアを持っています。

    ■今回は、特に通信用デバイスのプロセス用装置IonScan(イオンスキャン)トリミング装置を主に紹介します。

    ■BAW(バルク・アコースティック・ウエーブ)、SAW(サーフェイス・アコースティック・ウエーブ)の生産工程におけるピエゾ層、金属層の厚みをナノレベルで調整する装置です。
    また、ガラス基板の加工に欠かせないイオンミリング装置も併せて紹介します。