取扱企業

Intelligent Epitaxy Technology, Inc.

1250 E. Collins Blvd. Richardson, TX 75081, U.S.A.
TEL : +1(972)234-0068   FAX : +1(972)234-0068   Web :http://www.intelliepi.com

国内連絡先

(株)エーティーエヌジャパン [ Booth No. B502 ]
〒224-0003 神奈川県横浜市都筑区中川中央1-35-16
TEL
: (045)910-4471
FAX
: (045)910-4615
Mail
sales@atnjapan.com
Web
http://www.atnjapan.com
担当
: 営業部

出展品目

  • MBE(分子線エピタキシー)法による、高品質InP/GaAsエピウェハ

Exhibits

  • High Quality InP and GaAs Epitaxial Wafers by MBE (Molecular Beam Epitaxy)

展示製品の特徴

■MBE法によるInP系、GaAs系の高品質エピタキシャルウエハを、RF/マイクロ波、高速デジタル通信、オプトエレクトロニクス用途向けに御提供致します。シリコンならびにゲルマニウム基板上の、III-V族エピタキシャルウエハにも、対応しております。

・独自のIn-situモニタリングシステムによる、高い再現性と面内均一性
・一般的な構造のエピウェハは、約4週間で納入中
・大/中型のMBE装置を現在8台所有し、量産を完全サポート (月産最大13,600枚/4"換算)
・InP系ではHBT、HEMT、PIN、APD等、GaAs系ではPHEMT、MHEMT、PIN 等を、多くのお客様に御提供中
・InPウエハは4"まで、GaAsウエハは6"まで対応
・エピ成長後の即時対応を可能にする、充実したウエハ評価設備
・新製品開発にも積極的に対応