展示製品の特徴

■MEMS RF スイッチは、MEMS加工技術で作製した、小型のメカニカルスイッチです。
独自の構造設計、高周波設計により1dB＠10GHzの低損失を達成し、さらに、メカニカル接点の長寿命化への取り組みにより、開閉寿命1億回以上を達成しています。半導体テスター、オシロスコープなど、高周波機器の小型化、高性能化に貢献します。

■また、今回は、さらに小型化したMEMS RF スイッチ（開発中）も出展しています。
8inchウエハプロセスによる高い量産性や、ウエハレベルCSP（Chip Scale Package）による更なる小型化を特長とし、これまで、MEMS RF スイッチの採用が難しかった、携帯電話やモバイル端末等への展開も想定しています。DCから10GHzにわたり、低インサーションロスと高アイソレーションや良好なひずみ特性、小さい寄生容量など、高いQ値のMEMS RF スイッチの特長で、幅広いアプリケーションの、高周波回路の高性能化や、新たな高周波回路の価値創出に貢献していきます。